沈阳拓？萍加邢薰窘ㄉ栌2010年4月，是由外洋专家团队和中科院所属企业配合提倡建设的国家高新手艺企业，专业从事高端半导体薄膜装备的研发、生产、销售与手艺效劳。公司先后三次肩负国家科技重大专项，2016年、2017年、2019年获评中国半导体行业协会授予的“中国半导体装备五强企业”称呼。
公司拥有12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积装备）、ALD（原子层薄膜沉积装备）、3D NAND PECVD（三维结构闪存专用PECVD装备）三个完整系列产品，拥有自主知识产权，手艺指标抵达国际较先进水平。产品普遍应用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等高端手艺领域。公司产品现在已导入海内多家主流内资晶圆厂，也是海内唯一在半导体领域大规模量产应用的国产自主PECVD装备公司。
